应用

• 半导体、显示器和光伏行业
• 半导体生产系统中的高纯气体供应

功能特性

• 通过EtherCAT^®文件实现高过程安全性
• 功能扩展
• 针对OEM应用的可放大数量和单个适配
• 电缆冗余设计带来的最高程度设施安全

描述

型号WUD-2x-E是一种设计紧凑的高纯变送器，用于半导体工业中高纯气体的高精度压力测量。它是威卡第一款使用SDP 5003.2080的变送器，保障了投资安全性。由于信号噪声小，这款变送器可以长期提供精确的测量值。得益于主动温度补偿，即使在高温度波动情况下也能确保测量值准确。测量人员可以在显示屏上查看测量值。

通过EtherCAT^®文件实现高过程安全性
得益于EtherCAT^®，在进行固件更新或处理故障时，型号WUD-2x-E无需断开网络连接，从而可以避免因不当的安装或移除操作导致的停机，以提升过程安全性，且支持仪表更新。

功能扩展
数字界面带来的新功能：除了压力值，还可以传输温度数据或错误状态。

这样就可以对仪表进行高强度监测，并在早期发现问题。可以对参数进行数字配置，并将其从有缺陷的仪表转移到新的仪表。甚至可以在EtherCAT^®系统运行时使用热插拔功能更换变送器。这意味着更少的停机时间和更低的成本。

针对OEM应用的可扩展数量和单独适配
洁净室中的生产以高度自动化方式进行。高生产能力保障了供应安全。通过型号编码，可以启用具有单独配置连接的解决方案。

电缆冗余设计保障设施安全
型号WUD-2x-E具有两个RJ-45连接。即使系统中的一个变送器发生故障，电缆冗余设计也能实现无故障通信。优点在于：提高过程安全性，降低停机风险。